半導體材料的霍爾效應測試
半導體材料的霍爾效應是表征和分析半導體材料的重要手段,可根據霍爾系數的符號判斷材料的導電類型?;魻栃举|上是運動的帶電粒子在磁場中受洛侖茲力作用引起的偏轉,當帶電粒子(電子或空穴)被約束在固體材料中,這種偏轉就導致在垂直于電流和磁場的方向上產生正負電荷的聚積,形成附加的橫向電場。
根據霍爾系數及其與溫度的關系可以計算載流子的濃度,以及載流子濃度同溫度的關系,由此可以確定材料的禁帶寬度和雜質電離能;通過霍爾系數和電阻率的聯合測量能夠確定載流子的遷移率,用微分霍爾效應法可測縱向載流子濃度分布;測量低溫霍爾效應可以確定雜質補償度。與其他測試不同的是霍爾參數測試中測試點多、連接繁瑣,計算量大,需外加溫度和磁場環境等特點。
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