真空腔體是保持內部為真空狀態的容器，真空腔體設計制作要考慮容積、材質和形狀。

1、根據應用需求選擇腔體形狀。幾種代表性的真空腔體包括垂直真空腔體、水平真空腔體、立方真空腔體和球形真空腔體。

2、根據獲得真空度選擇腔體材質。鈦用于ji高真空；鋁用于超高真空；不銹鋼用于高真空。

3、法蘭：CF法蘭，是一種用于超高真空中的法蘭連接，是一種金屬靜密封，可以承受高溫烘烤，適用的真空度最高達到10^-12mbar。KF法蘭，應用在真空系統中的一張快卸法蘭，它由以下幾個元件構成：兩個成對稱分布的KF法蘭、O-Ring、定心支架、卡箍。不需要是用別的東西，只要簡單地用手擰動蝶形螺母就可以松開或壓緊連結、適用于真空度最高達到10^-8mbar。

4、觀察窗：觀察窗是安裝在真空鼻腔上的一個窗口零部件，可以通過該窗口傳輸紫外線、可見光及紅外線等各種光波及電磁波。錦正茂科技生產可拆卸觀察窗是在標準法蘭上進行加工，可以安裝玻璃片的一種視窗，可以更換不同材質的窗片，一般采用石英窗片，也可以選硅硼窗片等其他特殊光學窗片。