探針臺系統分為手動探針臺與自動探針臺,以下我們主要分析手動探針臺。
探針臺用途:
手動探針臺又稱探針測試臺主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規格芯片,并提供多個可調測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對芯片進行科研分析,抽查測試等用途
探針臺系統組成:
探針臺臺體+顯微鏡+探針座+探針夾具+探針+測試源表(請注意無測試源表就構成不了系統,探針臺只是提供一個測試平臺,一切數據的測量都需要依靠測試源表來完成)
探針臺測試環境:
可提供的測試環境有:常溫、高溫、高低溫測試、真空高低溫、高壓、輻射以及磁場環境。